COURSE GUIDE
수강 정보
강좌 구분
KOCW
제공처
세종대학교
교수·강사
이내성
비용·방식
원문 확인
학습 기간
상시
— 종료일 미정
강좌 소개
나노미터 두께의 박막재료는 기존의 재료로서는 얻을 수 없는 우수한 특성 (low weight variable properties unique crystal structures new properties energy saving cost saving small dimensional requirements)이 있어 산업분야에서 많이 응용이 되고 있다 본 과목에서는 박막 장비 및 성장에 필수적인 이론인 gas kinetics plasma vacuum technology 등과 PVD CVD의 여러 가지 박막성장 process에 대해 다루고 박막성장 mechanism characterization 등에 대해 강의한다
핵심 정보
강좌 요약
2013년 1학기
교육 대분류
공학계열
교육 중분류
산업
상세 데이터
상세 데이터
강좌 소개
나노미터 두께의 박막재료는 기존의 재료로서는 얻을 수 없는 우수한 특성 (low weight variable properties unique crystal structures new properties energy saving cost saving small dimensional requirements)이 있어 산업분야에서 많이 응용이 되고 있다 본 과목에서는 박막 장비 및 성장에 필수적인 이론인 gas kinetics plasma vacuum technology 등과 PVD CVD의 여러 가지 박막성장 process에 대해 다루고 박막성장 mechanism characterization 등에 대해 강의한다
교수·강사
이내성
등록일
2013-12-27
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